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到底什麼是「濺鍍」?其實這個名詞對音響迷也不是太陌生,在我們談到純鈹振膜、鑽石振膜的時候,就會聽到這個技術字眼。我不是這個領域的專業,只能把我在優貝克聽到的現學現賣,無法深入解釋這種技術。不過從上面這張ULVAC官網找到的圖片,我們可以大略了解什麼是「濺鍍」。* ^3 U+ }; W! K' s, |: o- _
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濺鍍必須具備兩個要素,一個是「靶材(Target)」,也就是要濺鍍到晶圓或黑膠上的材料,以這次的濺鍍黑膠為例,靶材就是「鉬」與「鈦」。靶材的純度要夠高,濺鍍層的品質才會好。ULVAC的靶材以純度極高著稱,這次參訪的ULVAC台中工廠,主要工作就是製造靶材。
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濺鍍的另一個要素是「真空」狀態,來自日本的ULVAC原本就是從真空設備起家,後來跨足濺鍍機具設備,成為這個領域規模最大的第一品牌。真空的狀態要夠高,濺鍍過程中的游離氣體材不會因為碰撞到其他氣體而降低加速度。請看上圖,一般真空管或魔法瓶內中通常是中真空到高真空狀態,但是濺鍍時必須處於「超高真空」狀態,才能進行這項工作,我們常聽到的「真空濺鍍」,就是這麼回事。7 ~: C E6 `( r4 }6 F
) F' N" r( O% ~. i/ X2 M' Q接下來簡介「濺鍍原理」,請看上圖,當濺鍍腔室(chamber)的電極放電後,會讓腔室中的氬氣產生游離電子,當電子撞擊到靶材,靶材的原子就會掉落在被濺鍍目標上,這些原子本身的能量,會讓原子整齊的排列,形成極度均勻的濺鍍層。- M' p( X, @. A, w0 u0 s
所以,請不要懷疑濺鍍層能否深入平鋪在黑膠細微的溝紋中,因為濺鍍材料可是以「原子」狀態排列附著在黑膠表面啊!2 c$ |0 W. J% i- L
' w# w5 Q/ D6 e7 L; r你知道嗎?「濺鍍(sputtering)」這種技術並不只存在於高科技晶圓廠中,也在我們的周遭不斷發生!為什麼上圖的右邊畫了一支日光燈管?因為日光燈管的發光原理,就與「濺鍍」有關。日光燈管兩端的電極放電後,會讓內中的氬氣等惰性氣體產生游離電子,撞擊燈管內的微量水銀蒸汽而發光。
: t) K" t1 P% f1 a3 Y日光燈用久了之後,我們會發現燈管兩端會變得黑黑的,那其實就是燈管電極被游離電子撞擊(sputtering)之後,掉落在燈管壁上的一種濺鍍層。日光燈管之所以會壞,就是電極被不斷撞擊之後失效。所以我們都知道使用日光燈時,應該盡量避免頻繁的開開關關,才能減少電極被撞擊的次數,延長燈管的壽命。當我們看到燈管兩端越來越黑,就表示日光燈管快要壞啦!
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; s( P$ @2 b' l. f, E! [, e以上就是我對「濺鍍」技術初淺的認識,我知道音響迷中不乏高科技專業工程師,上面的說明如有錯誤之處,還請大家多多指正。
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