Sputtering！Sparkling！Splendid！高雄音響展奈米黑膠發表會

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Sputtering是用於晶圓製程中的濺鍍程序，大家都知道現在晶圓的製程已經進入奈米等級，如果把這個製程用在黑膠唱片上會如何？這就是2016年高雄音響展的創舉，而且此一技術還是來自台灣，更是世界首度將此技術應用在黑膠唱片上。既然是用於製造奈米晶圓的技術，相關設備當然不可能便宜，當初為何會如此發想，又是怎樣的機緣才有這樣的計畫？高雄電器同業公會的黃裕昌主委在TAA台北圓山音響展的第一天（8月13日）在瑩聲音響的展房舉辦一場發表會為大家說分明。

4 n' `0 I  j/ H2 N' r這是2016年高雄音響展的黑膠唱片封套，完全不惜血本製作，表面是鏡面的特殊印刷，非常漂亮。這次收錄的曲目是顏華容老師彈奏的柴可夫斯基的「四季」，詳細的錄音過程「普洛影音網」與「音響論壇」都做過詳盡的報導。

6 l7 f4 r3 z8 H2 k奈米鍍膜黑膠唱片就是長這個樣子，這張是剛拿到的2016年高雄音響展紀念黑膠唱片的白片，最後的成品會有設計好的圓標，這張則連圓標也鍍上了奈米鍍膜。奈米鍍膜的正式名稱是Prolayer，是台灣優貝克獨家研發的技術，好處是抗磨損、防靜電，而且也比較容易導熱。外觀看起來就像是金屬一樣，優貝克稱為黑膠唱片的「鎧甲」，由於是奈米級的鍍膜，也不容易沾染指紋，看起來是不是十分的Sparkling啊？黑膠迷一定會擔心鍍上了東西，一定會影響聲音吧？確實會，那如何決定哪一種配方才是正確的聲音呢？黃主委給優貝克的指示很簡單，就是聽起來要「美」！台灣優貝克試過各種方法與配方，最後決定以自然界熔點第六高的「鉬」當作鍍材，並以最先進的濺鍍法製作，厚度僅有350個原子（誤差在10個原子之內），是貨真價實的奈米等級。這樣說您可能還沒有概念，如果說黑膠的溝槽是101大樓的話，這層鍍膜差不多只有30公分這麼厚，您應該就知道有多誇張了吧！

, e0 m" b6 [% E, t7 a: I7 ~高雄電器同業公會音響組的黃主委手上拿的就是今天要播放給現場媒體聽的2016高雄音響展奈米黑膠唱片。
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& Q, [) p% X2 W: M" S發表會當天還特別請到錄音的主角鋼琴家顏華容來為大家解說柴可夫斯基的「四季」，顏老師是台灣第一個俄羅斯音樂學院的畢業生，承襲俄系的鋼琴演奏傳統，從語言與文學的角度剖析今天所播放的「十一月」與「六月」，解說十分精彩。當天先播放32/96的數位母帶檔案，接著播放同一首曲子的奈米黑膠，相信應該沒有人聽不出來差異，數位母帶檔案聽起來非常中性寫實，但奈米黑膠則非常華麗（Splendid），鋼琴的琴音厚度十足，其實想想也非常有道理，摩擦力降低了，唱頭跑得越順暢，高頻自然漂亮，由此也可以知道這層奈米鍍膜對聲音的影響確實非常微小，但卻可以一掃黑膠迷長久以來的煩惱。

% @" l3 j7 |+ s- x; v台灣優貝克的吳東嶸副總經理負責簡報介紹Prolayer這個技術的獨特之處。不知道黑膠迷有沒有想過現在已經是2015年，為什麼我們還在用1940年代的技術在製作黑膠唱片？不說別的，20年前的電腦與現在的電腦相比，就知道20年能讓整個業界天翻地覆幾回，那為什麼音樂的保存技術可以將近七十年不變？黑膠有沒有問題？當然有，但對於要如何改善大家卻都沒有頭緒。優貝克有最先進的技術與最豐富的資源，而且最重要的是他們有心想要改善黑膠唱片的種種問題。黑膠唱片有什麼問題？不耐磨、不導熱、易產生靜電，而Prolayer奈米鍍膜剛好可以解決這三大問題，讓黑膠唱片可以永久保存，而且沒有靜電問題。但是問題來了，由於摩擦力降低了，雖然不會磨損唱片，但也讓唱頭的調整變得不同，除了要將抗滑取消之外，針壓也必須酌量增加。

4 B4 }0 o; |; O0 @高雄市電器同業公會的蔡志亮理事長也特別從高雄趕來參加這場發表會，可見公會對此事的重視程度。由於蔡理事長的全力支持，才有這次的奈米黑膠問世。
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; P5 H  P- h. w: B5 x' R8月13日也是與高雄音響展合作多次的錄音師徐育聖的生日，公會特別準備了小蛋糕為他慶生，由理事長「頒獎」。

今天所有媒體到台灣優貝克的新竹總公司實際參觀Prolayer的製作過程，一開始吳副總就搬出一個透明大箱子給大家看，裡面放了幾張12吋的黑膠唱片，見多識廣的劉總編一看到就說「這個不是用來製作晶圓的東西嗎？」確實沒錯，這是用來製作12吋晶圓的防塵箱，因為晶圓的製作都必須在無塵室中，所以要先將晶圓放在這個無塵箱中保存，再輸送到產線上，以免被污染。優貝克就是用與製作晶圓一樣的機器在製作奈米黑膠，您知道這樣一部機器要多少錢嗎？差不多就是好幾個億！

  W3 J: F8 b8 ?6 d$ J  L% |7 o) S這位就是牽成整件事的優貝克魏雲祥副總經理，他本身就是PMC的用家，也是黃主委的老客戶，去年突發奇想也許可以把公司的技術應用在黑膠上面，沒想到還真的美夢成真。台灣優貝克（ULVAC）是日本ULVAC的台灣子公司，日本ULVAC成立已經超過60年，ULVAC代表的就是Ultimate in Vacuum，也就是最佳的真空狀態之意，換句話說，他們是真空的專家，專長就是提供各領域的廠商真空設備。日本業界流行著一句話「說到真空，就想到ULVAC」，從此可知他們在業界的地位，台灣優貝克則是在1981年成立，目前也有35年的歷史，工廠主要在台南，總部在新竹，台中也有辦公室。台南工廠是目前ULVAC海外除了韓國廠之外，唯一有自行研發能力而且可以「回銷」產品到母國日本的工廠，可見優貝克的技術之強。
優貝克的蔡有哲總經理今天也是第一次聽到簡報，可見他們公司真的給研發單位很大的自主權。蔡總說當初魏副總與吳副總跟他提案的時候，他還說黑膠不是已經在博物館的東西嗎？但音響展期間他特別抽空去逛了一下，才發現原來黑膠市場如此暢旺，也讓他大開眼界。

這就是濺鍍的機器，在濺鍍前還要先用洗唱片機洗過，確保沒有灰塵污染，實際操作時會在無塵室中處理，今天只是示範給媒體拍照。
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看到了嗎？這就是往上衝的電漿，會以原子等級的規模噴濺到黑膠唱片表面，所以稱為濺鍍法（Sputtering）。由於這只是示範，所以採用向上噴濺，實際的產線會以向下噴濺的方式鍍膜。工程人員還特別把時間拉長，讓我們所有人都能看到濺鍍的過程，實際上濺鍍一片黑膠唱片差不多只要一分鐘到兩分鐘。
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可以放大到1,000倍的電子顯微鏡，連最細微的振動都會影響成像，所以它是懸浮在一片超大的避振墊上，整部機器還放在一個獨立的框架中。

這邊並不是產線，而是優貝克的實驗室，負責製作樣品給客戶評估，像是這次高雄音響展的黑膠唱片就是在這裡完成的。他們特別改裝了一部濺鍍的機器製作這次的奈米黑膠，另外還有許多精密的儀器，可以用來評估製作的成果。
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接著我們回到會議室看這次奈米鍍膜的效果，如果只是要看黑膠唱片的溝槽，不需要用電子顯微鏡等級，只要一般的光學顯微鏡（OM）約放大200倍就可以清楚看到溝槽。

6 J: D. K  w+ x- O# H" Z有沒有感覺很面熟？是不是跟我們的「黑膠專書」裡面的圖片很像？實際上看到唱片的溝槽大約就是這個樣子。

接著是靜電測試，右邊是傳統的黑膠唱片，左邊是奈米鍍膜黑膠，您看傳統的黑膠唱片吸附了多少保麗龍屑，而奈米黑膠則完全沒有靜電，什麼也沒有吸附。

用說的還不準，來看看實測數據，這是傳統黑膠唱片，靜電量是358。
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奈米黑膠的靜電量則是15，厲害吧！難怪不會吸起灰塵。
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- P( E! ^) }( u; C# k- I當然最後也不能免俗的要來一張大合照，優貝克還特別準備了伴手禮送給與會媒體人員，讓大家度過一個充實的下午。

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! l0 ]- y3 [% f- p1 c: i# m( {刪文

非常抱歉，畢竟我不是專業人員，還請見諒。我再修改一下文句，謝謝指教。
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小廖，我發誓，我只唱過四次而已，而且還不是每首都唱過

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2016年2月24日，我们眾媒體又為了奈米黑膠唱片齊聚在科學園區優貝克的廠房裡，不過這次不是在新竹，而是在台中。
上次在新竹優貝克只是解釋奈米黑膠唱片的種種而已，所看到的是試做機台。而這次在台中科學園區優貝克廠房中，已經是正式投產的設備與製程。這次，我们要穿全副武裝防塵衣才能進入生產廠房，進入之後，只看到機械手臂把奈米唱片拿進拿出，當然我們也抓緊機會拍照。在此我就先放幾張我們在無塵室內的情況，幾個人穿著防塵衣，根本看不出誰是誰。有關這次參訪的過程，陶忠豪與李建樺會接著為各位寫下去，在此我要講的是大家最關心的議題：到底在黑膠唱片上以奈米的厚度濺鍍鉬金屬與鈦金屬之後，聽起來會是如何呢？
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9 e) L6 V# z: n( |# c- D  X; q在此我要先向Hi AV的總編輯廖斐森請罪，因為您的奈米唱片已經先被我唱過了，不過我發誓，只有唱過四次做比較而已，而且不是每首都唱。根據優貝克的說法，奈米黑膠唱片可以耐唱上萬次以上，所以我這四次應該也不會刮傷唱片，如果刮傷了，找優貝克理論去。
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3 y+ C9 y  h, {9 m) `- |' j為何我拿廖總編的奈米唱片還試唱呢？因為廖總編今天有事沒出席，上次大家拿去濺鍍的黑膠唱片我就幫他拿回來。碰巧他拿去濺鍍的黑膠唱片我也有一張，而我自己拿去濺鍍的我只有一張，就是Clearaudio的「Bestseller Classic No.1」。真是天助我也，剛好我可以做比較，於是，就這樣要跟廖總編說抱歉了。

, `) V) O) g! H4 S( Q0 b回到家，開機，熱機之後，我就開唱了。經過「不夠周密」的比較結果，我發現奈米黑膠唱片的Pre Echo比沒有濺鍍的一般版還要清楚，而且樂器演奏的尾音、堂音也比較清楚，整體聲音聽起來也比較有水份，比較華麗。為何會這樣呢？難道是奈米黑膠唱片表面上的鉬金屬與鈦金屬比黑膠還要滑溜，所以摩擦力比黑膠還低，唱針在裡面循軌起來更靈活的緣故嗎？我說過，我剛做的比較是「不夠周密」的，因為樣本只有二張，取樣不足，以上是我出接觸的聽感。
; I% [. f" G( c3 ~( g再來，我也發現濺鍍之後，原本黑膠唱片上本來就有的炒豆子並沒有減少或消失，還是依然存在。為何我會這樣說呢？因為廖總編那張奈米唱片的雜音比我的還多，經過我判斷，那些雜音應該是原本就存在的，經過鉬金屬、鈦金屬濺鍍之後，那些雜音並沒有被掩蓋，反而更清楚，就跟Pre Echo更清楚一樣。
至於我自己的Yarlung Recods「Sophisticated Lady Jzz Quartet」，我也聽了，整體聽來沒有不好，只有更好。當然我說「更好」也是主觀的，不夠客觀，因為沒有第二張黑膠可以做比較，純粹只是自己聽的感覺而已。

奈米黑膠唱片一張賣多少呢？目前市面上還沒有成品，唯一能買到的就是今年4月高雄音響展的那張「奈米創四季」，售價1,500台幣。至於以後優貝克接一般人的Case濺鍍，一張要算多少錢呢？目前還沒算出。不過，我可以告訴您要濺鍍一張黑膠多麻煩，要先把您的黑膠清理乾淨，才能開始濺鍍。濺鍍一面黑膠唱片大約要花10分鐘，二面就要20分鐘。這些穿防塵衣在無塵室工作的人，一天薪水多少您自己算。濺鍍的機台一部要上億台幣，就算不把折舊算進去，成本也肯定嚇人。還有鉬金屬與鈦金屬靶材也要錢。所以，濺鍍一張黑膠唱片肯定不便宜。不過，如果您有珍貴的黑膠唱片，倒是值得濺鍍保存，黑膠唱片如果保存得宜，放個幾百年我看沒問題，絕對是最可靠的音樂媒體。想想看，您的曾曾曾曾曾曾曾曾曾孫都還可以聽到太上老祖當年收藏的黑膠唱片，而且唱起來跟老祖耳中聽到的一樣，多神奇啊！甚至，您可以去錄一張家訓黑膠唱片，把它濺鍍起來，讓幾百年後的子孫還可聽到你親口說的家訓，這是多麼有意義的事情啊！所以，濺鍍黑膠唱片成為奈米唱片，要在乎的不是金錢，而是意義，不是嗎？

* U  ]" w0 H1 K6 C6 g8 `4 I用唱針唱奈米唱片，會不會把奈米鈦金屬刮起來？我唱了幾次，檢查針尖，並沒有發現異狀。
我不能再寫下去了，要留更精彩的給陶忠豪跟李建樺來寫。
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0 X- y4 Y& B# D" g穿防塵衣的示範
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連鞋子都要換

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已經濺鍍好的奈米黑膠唱片
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用顯微鏡檢查
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無塵室中的另一層無曾室，要在裡面操作


* _. ?: F* A1 ?6 I* l& e, A' z# |運送晶圓的盒子，事實上這些設備就是在做晶圓的。

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在內層的無塵室中聽說明


* t# V' ~  E( v  ]2 p無塵室裡不能掃地，而是要黏地，灰塵要用黏的。

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示範如何保護中心標籤



這是濺鍍的機台，事實上優貝克就是在做晶圓生產的機台，現在把它拿來濺鍍黑膠唱片，簡直就是拿比牛刀還大的刀來殺雞。
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/ }0 H- L! p" Q* @% u0 A濺鍍機台裡面要非常高的真空,高過真空管的要求，這是抽真空的筒。

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" s) w3 q5 Y: t% D# g6 }這就是機台
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- d* J- O' V$ _5 q  K上面可以看到三個圓形，其實那就是濺鍍黑膠唱片時所經過的三到程序，真正用到的是其中二道程序。
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. ^, C1 y$ ?  p' g7 s; z7 h0 Z機台的冷卻系統

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距離八月份高雄音響協會發表奈米黑膠也將近半年的時間了，四月份高雄音響展也即將展開，今天筆者與劉總編、陶主編依約來到的是優貝克位於台中的廠區，親自參觀奈米黑膠的量產過程。關於奈米黑膠的製作，第一個討論裡已經有了詳細介紹。

1 ~; D4 k6 F7 ~6 T. Z+ l2 t來到工廠後，因為參加的媒體與來賓超過二十人，量產製程的空間能容納的人有限，因此分批參觀，留在會議室的人，先由廠房進行簡短的簡報。今天的簡報內容主要在告訴大家優貝克在實施濺鍍時所使用的奈米分子等級。這張圖清楚地告訴大家，即便假設刻片廠能用到的最佳精度，也非奈米級，因此施加奈米塗層，增加厚度可說微乎其微。
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這兩張簡報圖是鍍膜前後厚度的差異圖，加上奈米塗層後增加的厚度若用奈底的數據來解釋，大多數的人一定霧煞煞，就像先前報導廠商所舉的例子，如果把溝槽深度視為台北101大樓的高度，奈米濺鍍層的厚度就大約30公分，不要說肉眼了，拿一般顯微鏡可能也看不出來。厚度影響的疑慮沒了，那麼均勻度呢？這點有大可放心，因為優貝克的器材原本是專為晶圓片濺鍍使用的，要執行的孔位遠比唱片的溝槽要小太多，而且他們採用的是向下散落濺鍍法。透過加熱惰性氣體氬氣使其上升接觸上方的金屬靶材，使靶材以原子的大小向下掉落，因為掉落的原子大小相等，特性也相等，因此會產生依附性，並自動找到空隙填補密合，因此最後的塗層會非常均勻。根據廠商表示，其實見度過程中靶材的純度非常重要，要不然均勻的塗層內，也會參雜著雜質。優貝克的靶材是出名的純，而且濺鍍技術是晶圓級，用在他們看來精度還差上一大截的黑膠唱片與其溝槽尺寸，簡直殺雞用牛刀。


& _4 N0 B6 E8 l! n為了讓媒體能加速進入無塵室參觀，原廠人員還示範了防塵衣的穿法。

+ \' b, }1 e( w0 T) O5 _- ^$ n4 Q 穿著的過程就省略了，大家著裝完畢後就是這副模樣，這不是在研究伊波拉病毒而是無塵室的穿著有著很嚴格的規範。因為這種晶圓等級的濺鍍製程最怕的就是灰塵，最高等級的防塵室，一平方英尺的空間中，僅能有一顆灰塵。這次黑膠唱片奈米濺鍍的無塵室雖然未達最等級，但也非常要求，圖中媒體站立的區域只是一般等級的無塵室，真正在濺鍍的區域還隔出了一個無塵室中的無塵室，無塵的等級更高。一張黑膠唱片有必要搞得如此慎重嗎？答案是聲音聽得出來。當初在新竹實驗室的試作品，即便先清洗乾淨，因為靜電的緣故，還是吸附了微量落塵，透過播放，也可以聽到細微雜音。在此無塵室的量產品，完全無需擔心此問題。
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7 W: D3 \9 t5 q+ {0 m0 S: e這個是收藏晶圓的片匣，剛好也可放入12寸大小的黑膠唱片。所有唱片清洗完畢後，就會依序安置到此片匣，然後放入機台，準備被抽取加入濺鍍製程，有點像以前多片讀取CD匣的概念。

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5 x7 t6 O% p$ O8 B+ M
8 F. p$ i4 K& C* L1 v1 Y2 l很抱歉，因為整個製程要在一個完全無塵的狀態下進行，因只能隔著機台拍照，請見諒。每張黑膠唱片在被機械手臂取片後，會被放到機械手臂前方的一個灰色淺盤上校準中心點，然後如下圖，由機械手臂取片送入濺鍍機中。這個看似單純的送片動作實際上也超乎相像的講究，因為濺鍍機內是屬於高壓的真空狀態，因此當前一張送入的片子濺鍍完畢後，必須先把機器內部的真空壓力釋放，調整到與機械手臂區域相同的壓力後，另一隻機械手臂將處理完的片子取出後才把為處理的片子送入，一次只能處理單片單面，整個過程約10分鐘。
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上面提到校正中心點的目的之一就是為了正確安置這個中央圓標保護蓋，以免受到濺鍍。

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濺鍍過程就是在這部機台內完成，從圖中可以看到四個圓盤突起處，從左方數來第一個是取片到定點的安置室，第二個空間並沒有參與黑膠的濺鍍過程，處理晶圓才需要，最後的兩個地方則是分別濺鍍上金屬鉬與鈦兩種材質。為什麼要濺鍍兩種材質呢？其實原本濺鍍上鉬就已經能夠增強硬度了？但是鉬被手指碰觸後會鹽化變黑，因此最後再決定度上一層鈦，即便氧化，外觀顏色也不會有太大變化。
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這是機台的水冷控制系統，非常的精密，整體的造價也非常～非常～非常（很貴，所以講三次）昂貴。
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6 ]' l! d" Q$ n, |登愣～～～，最後的成品樣貌就是這樣，看起來真的超酷，根據了解，四月份高雄音響展會正式推出，預計售價為1,500元，據說還沒正式開賣，主辦單位接到的詢問電話也是歷年之最。大家看了是不是也有點心癢難耐？再等等一個多月，高雄音響展就快開展了。
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